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電子級氫氟酸檢測機構(gòu) 氫氟酸雜質(zhì)檢測分析中心
發(fā)布時間：2022-09-15 198
　　你了解電子級氫氟酸嗎？哪個機構(gòu)可以提供專業(yè)的電子級氫氟酸檢測服務(wù)？氫氟酸雜質(zhì)檢測分析中心-中科檢測，具備氫氟酸分析檢測資質(zhì)能力，下面跟著中科檢測小編來了解。
 

　　電子級氫氟酸介紹

 
　　電子級氫氟酸分子式HF，分子量 20. 01。為無色透明液體，相對密度1. 15～1 . 18，沸點 112 . 2 ℃，在空氣中發(fā)煙，有刺激性氣味，劇毒。能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應(yīng)，生成各種鹽類。
 
　　腐蝕性極強，能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。易溶于水、醇，難溶于其他有機溶劑。高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑，可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用。
 
氫氟酸檢測
 

　　電子級氫氟酸檢測項目

 
　　沸氫氟酸（HF）含量、灼燒殘渣、氯化物、硫酸鹽和亞硫酸鹽、磷酸鹽、氟硅酸鹽、鐵、重金屬、含量等。
 

　　電子級氫氟酸用途

 
　　應(yīng)用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕，是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前，在國內(nèi)基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè) ,其他方面用量較少。
 

　　電子級氫氟酸質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

 
　　目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對電子級氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個檔次：
 
　　1 低檔產(chǎn)品，用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；
 
　　2 中低檔產(chǎn)品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；
 
　　3 中高檔產(chǎn)品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術(shù)的制作；
 
　　4 高檔產(chǎn)品（UPss），適用于0.09～0.2μm和<0.09μmIC工藝技術(shù)的制作。
 

　　氫氟酸雜質(zhì)檢測分析中心

 
　　中科檢測是中國科學(xué)院控股有限公司(國科控股)旗下第三方檢驗檢測認(rèn)證機構(gòu)，通過了檢驗檢測機構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定(CMA)、中國合格評定國家認(rèn)可委員實驗室認(rèn)可(CNAS)，是專業(yè)的氫氟酸檢測機構(gòu)。
 
　　中科檢測具備氫氟酸檢測資質(zhì)能力，提供CMA/CNAS資質(zhì)檢測報告，致力于產(chǎn)品研發(fā)、成分檢測、成分分析、配方還原、未知物分析等檢測技術(shù)服務(wù)。有檢測需求可以咨詢中科檢測工程師了解。
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